روش های رسوب دهی شیمیایی بخار
انواع مختلفی از روش های رسوب دهی شیمیایی بخار (cvd) وجود دارد و هم چنین روش های مختلفی برای طراحی راکتور این فرآیند موجود است. مهم ترین روش، راکتور با دیواره سرد است. در این راکتور زیرپایه گرم نگه داشته می شود بدون ...